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气浮导轨

2022-03-24

■ 描述

线性气浮滑轨提供一种非接触的空气轴承替代常规的基于轴承滑动。作为集成系统包装,线性空气滑轨由铝制多孔碳轴承(“平台”)和精密铝制导轨组成。

线性空气滑块具有获得专利的空气轴承设计,即多孔介质技术™,可通过在轴承面上分布薄而硬的空气层来消除摩擦。碳的自然渗透性确保了空气的均匀流动。这种独特的设计提高了精度和运行效率,并且在气源故障的情况下提供了坚固,抗碰撞的设计。

提高精度

气浮滑轨的主要区别在于我们将滑轨和滑块整合在一起的独特机制。真空复制用于将载物台靠在导轨上,从而消除了振动和谐波噪声。由此产生的出色的稳定性,平直度和刚度确保每次都能实现纳米级定位。

减少维护

空气的使用大大减少了操作过程中的维护情况。不仅没有繁重的润滑要求要执行,而且污染和除气问题也变得过时了。

■ 应用领域

半导体

1.高速操作与纳米级精度同时提高产量和质量

2.与传统的润滑剂相比,使用空气可以解决污染和除气问题,使其成为洁净室操作的理想选择

微加工

1.多孔介质技术使空气均匀分布,不仅提供了亚纳米级的精度,而且还固有地提供了防撞设计,2,Z大程度地减少了潜在的损坏

3.减少维护停机时间,提高运营效率

坐标测量机

1.非接触运动与真空复制相结合,提供了至关重要的行业所要求的信心

2.多功能的设计使它可以用于探头/传感器的垂直应用以及传统的水平应用

光学研磨

1.消除振动和谐波噪声后,磨削操作可反复多次达到高精度

2.使用空气代替润滑剂避免了污染问题

■ 其他应用

高科技制造和运输(平板显示器(FPD)和光伏(PV 太阳能电池板),医疗(例如MRI和CT扫描机),能源/电力,石油和天然气,精密测量机